原位分析程序在过程气直接在实际过程气路中流动时带有物理测量功能。与提取式气体分析不同，不需要把样气提取出来并通过样气气路输送的分析仪中，也不需要样气制备。过程中气体浓度的直接快速和非接触测量是原位二极管激光气体分析仪（TDLS - 可调二极管激光光谱）的应用领域。

用于 1 到 3 个测量点的气体分析仪：LDS 6

LDS 6 气体分析仪将 6 系列分析仪的结构紧凑、人性化设计、操作简单和网络能力与原位气体分析的众所周知卓越性能数据相结合 － 即采用二极管激光技术和光纤实现高耐用性、适用性以及低维护。可将多达三个 LDS 6 原位 cross-duct 传感器（其也可采用适合在危险区中运行的本安设计）与一台分析仪组合到紧凑型 19 英寸架装中。

用于单个测量站的紧凑型氧气分析仪：SITRANS SL

SITRANS SL 气体分析仪设计用于测量氧气，采用更集成的设计，无需光纤，仅含有一对 cross-duct 传感器 － 一个变送器和一个检测装置。在这种情况下，接收器具有一个本地用户接口（LUI），使用 IR 遥控装置进行控制。